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超純水設(shè)備凈化法流程描述

來源:中藍環(huán)保     發(fā)布時間:2016-01-15    瀏覽次數(shù):

超純水設(shè)備凈化法流程描述

超純水設(shè)備凈化法流程描述

  電子、半導(dǎo)體工業(yè)的芯片生產(chǎn)在制作過程中,往往需要使用極其純凈的超純水。如果純水水質(zhì)達不到生產(chǎn)工藝用水的要求或者水質(zhì)不穩(wěn)定的話,會影響到后續(xù)工藝的處理效果和使用壽命。此外,晶元清洗和機械碾磨過程中都會產(chǎn)生廢水,造成對環(huán)境的污染。
  通過使用超濾、反滲透、EDI和核子級離子交換系統(tǒng)來生產(chǎn)滿足需求的超純水。并將生產(chǎn)過程中所產(chǎn)生的廢水經(jīng)過膜系統(tǒng)的處理進行回收再利用,在很大程度上減少了電子、半導(dǎo)體行業(yè)的用水量、降低了生產(chǎn)成本。
  微電子行業(yè)包括了電解電容器生產(chǎn)、電子管生產(chǎn)、顯像管和陰極射線管生產(chǎn)、黑白顯像管熒光屏生產(chǎn)、液晶顯示器的生產(chǎn)、晶體管生產(chǎn)、集成電路生產(chǎn)、電子新材料生產(chǎn)等生產(chǎn)工藝,都需要工業(yè)超純水。傳統(tǒng)化學及介質(zhì)過濾生產(chǎn)超純水的方法,會因在水中添加各種化學劑,制備過程冗長等各種因素造成產(chǎn)水的不穩(wěn)定,無法確保長期、穩(wěn)定的超純水。
  采用“物理”凈化法(超濾→反滲透→EDI→拋光混床),使超純水設(shè)備從傳統(tǒng)的陽離子交換器、脫碳、陰離子交換器、復(fù)合離子交換器等發(fā)生了一次革命,從此進入了一個無需再生化學品的時代。膜法制備出來的工業(yè)純水,其純度可達到18MΩ·CM,且系統(tǒng)穩(wěn)定,使用壽命長,且生產(chǎn)過程所產(chǎn)生的廢水又可回用再生。
 

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